海德漢HEIDENHAIN LB382C讀數頭互成影響
海德漢HEIDENHAIN LB382C讀數頭互成影響
一種外差光柵位移測量裝置,包括光源、讀數頭、光電接收模塊和信號處理系統,光源用于產生兩束重合、偏振正交且具有固定頻差的偏振光;讀數頭用于接收兩束偏振光,并分別入射到移動的測量光柵的表面生成分別包括偏振光分量與第二偏振光分量的+1級衍射光和?1級衍射光,+1級衍射光和?1級衍射光分別經讀數頭入射到光電接收模塊;光電接收模塊用于接收+1級衍射光的偏振光分量和第二偏振光分量及?1級衍射光的偏振光分量和第二偏振光分量形成兩路拍頻信號;信號處理系統用于對兩路拍頻信號進行差分計算,實現測量光柵單次衍射4倍光學細分的位移測量