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特種加工種類主要按其能量來源和工作原理的不同分類，主要如下幾種：

1、電、熱能：電火花加工，電子束加工，等離子束加工；

2、電、機械能：離子束加工；

3、電、化學能：電解加工、電解拋光；

4、電、化學、機械能：電解磨削、電解珩磨、陽極機械磨削；

5、光、熱能：激光加工；

6、化學能：化學加工、化學拋光；

7、聲、機械能：超聲波加工；

8、機械能：磨料噴射加工、磨料流加工、液體噴射加工；

9、電子束和離子束加工以及同時用幾種加工方式的復合加工。