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深圳海德研磨供應硅片拋光液

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更新時間:2018-05-15 17:01:20瀏覽次數:1152

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產品簡介

硅片拋光液:適用于半導體材料如硅片的表面粗/ 中拋光,其z大特點是在具有較高拋光去除速率(0.9µm/min)的同時可多次循環使用,循環使用過程中拋光去除速率及拋光后表面質量穩定,有效降低拋光液使用成本。

詳細介紹

  硅片拋光液:適用于半導體材料如硅片的表面粗/ 中拋光,其zui大特點是在具有較高拋光去除速率(0.9μm/min)的同時可多次循環使用,循環使用過程中拋光去除速率及拋光后表面質量穩定,有效降低拋光液使用成本。拋光后晶片表面的微粗糙度在 0.2nm以下,已經在國內拋光片生產線上使用,*符合生產應用要求,可替代現有國外同類進口產品。

  外觀乳白色或微藍色透明溶液。

  技術指標

  含量(以SiO2%計) ——15%-25%

  pH值 ——————— 10.8-11.8

  比重(20℃) ————— 1.10-1.20

  粒徑—————————10nm-25nm

  粘度(20°C)————小于25c.p

  本公司由專業的實驗室研發各種材料的拋光液,可以根據不同材質配置拋光液。咨詢:

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