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XENOS長度測量誤差E00.3 + L/1,000 μm測量范圍XYZ9/15/79001,500700機械設計XENOS采用了機械設計理念。與標準橋式測量機不同：Y導軌分布于側壁頂部，分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的統一。所有軸均采用線性驅動XENOS的所有軸均采用線性驅動。其優點：高速、加速極快、定位精度高、驅動無剪切力影響。結合超高分辨率光柵尺技術，XENOS的線性驅動可獲得高度穩定性及低于100納米的*定位精度。例如，測針偏移量越恒定，即可獲得測量精度。于測量曲面時更顯見：測針的移動路徑與預定值越吻合，即可實現的精準性。虛擬*驅動XENOS于Y軸向配備雙線性驅動系統，得益于蔡司的*驅動技術可實現優異的同步控制。該技術可據X軸位置分布驅動力。作為控制系統及算法之結合，這是在整個測量范圍內獲得的測量精度及運動穩定性的關鍵因素。碳化硅陶瓷XENOS在與精度密切相關的機器部件上采用新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類似產品或精度的測量機器上得到使用。與常規陶瓷相比，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%，而剛性則可提升30%，同時減重20%。與鋼材相比，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。加強型VAST goldXENOS采用蔡司VAST gold測量探頭。在研發過程中，蔡司在測量精度和測量重復度方面對該探頭進行了優化。XENOS也采用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與長度可達800毫米的測針以及重量高達500克的測針配套使用，包括非對稱型測針。優化的氣浮軸承強化處理氣浮軸承具有優異的穩定性及測量精度。改進的電子設計通過電子設計，移動線纜對精度影響顯著降低。計算機輔助精度修正（CAA）法和特殊附加CAA修正技術在獲得高測量精度的過程中扮演著日趨重要的作用。
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