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由于空壓機對空氣壓縮的同時會把空氣中的水分子和油分子壓縮成水和油，而且空壓機本身工作時也需要有潤滑油對其機構進行潤滑，也使得有一部分潤滑油進入壓縮空氣。進入壓縮空氣的水和油會隨著壓縮空氣進入到平衡氣缸和氣浮塊。在三坐標測量機工作時水和油附著在導軌上，使導軌的直線度改變。當三坐標測量機不工作時管道中的油滴可能堵塞氣浮塊的氣孔，使氣浮塊不能正常浮起，造成氣浮塊與導軌的摩擦，損壞三坐標測量機并使氣管老化。管道中的水還會腐蝕氣浮塊和平衡氣缸。

雖然三坐標測量機配置有油水分離器或前置過濾器，但是如果進入管道的水和油太多，過濾器就會因飽和而無法過濾，使水和油能夠進入三坐標測量機。為此必須采取前置過濾的方法，盡量爭取在水和油進入三坐標測量機之前過濾掉。