詳細介紹
概述 +
Overview +
主要規格 +
碳化鎢的車削性能 | 表面粗糙度: < 5 nm Sa 形狀精度: < 0.15 µm P-V>d> |
編程分辨率 | 0.01 nm線性 0.0000001° 旋轉 |
極限載荷 | 136千克(300磅)@ 100磅/平方英寸 |
標準擺動能力 | 250 mm直徑 |
Sample Turning Results +
Test Part Details
- 20 mm dia. CX fused silica
- Speed: 1000 RPM
- Feed rate: 1 µm/rev
- DoC: 2 µm
- Laser power: 10 W



技術規格 +
機床底座和控制 | 描述 | |
機床底座 | 密封的天然花崗巖底座可為機床提供長久的穩定性 | |
機床類型 | 超精密兩軸、三軸或四軸CNC仿形機床 | |
隔振 | FEA優化的雙子框架和集成自調平TMC MaxDamp®隔振器(可選配PEPS® II-VX主動消振) | |
控制系統 | 采用可選自適應控制技術的UPx™控制系統 | |
操作系統 | QNX實時操作系統 | |
編程分辨率 | 0.01 nm線性 / 0.0000001° 旋轉 | |
文件傳輸/存儲 | USB、CD、Ethernet、機載數據存儲備份裝置 | |
車削性能 | 表面粗糙度 < 5.0 nm Sa, Form Accuracy < 0 .15 µm P-V, 在10毫米直徑、15毫米凸球、碳化鎢測試部件上測量 | |
線性靜壓導軌 | 描述 | |
類型 | 具有對稱直線電機安裝和液體冷卻的靜承導軌 | |
行程 | X和Z:220 mm (8.6英寸) | |
進給率 | 4,500毫米/分鐘(177英寸/分鐘) | |
驅動系統 | 直線電機 | |
位置反饋分辨率 | 8 pm (0.008 nm) | |
X軸直線度 | 水平(關鍵方向):0.2 µm (8.0 µ英寸) 整個行程 0.05 µm/25 mm (2.0 µ英寸) | |
Z軸直線度 | 水平(關鍵方向):0.2 µm (8.0微英寸) 整個行程 0.05 µm/25 mm (2.0 µ英寸) | |
垂直直線度 | 整個行程 0.375 µm(15 µ英寸) | |
靜壓供油系統 | Hydro-7智能伺服控制、低脈動泵、可選的熱控制 | |
工件夾持/定位主軸 | 高速HS 75主軸 | 高性能HS 150主軸 |
空氣軸承類型 | 槽式止推軸承 | 槽式止推軸承 |
材料 | 鋼軸/銅軸套 | 鋼軸/銅軸套 |
電機 | 集成的無刷電機 | 集成的無刷電機 |
極限載荷 | 45千克(100磅)@ 100磅/平方英寸 | 136千克(300磅)@100磅/平方英寸 204千克(450磅)@ 150磅/平方英寸 |
軸向剛度 | 105 N/µm (600,000磅/英寸) | 230 N/µm (1,314,000磅/英寸) |
徑向剛度 | 35 N/µm (200,000磅/英寸) | 130 N/µm (743,600磅/英寸) |
運動精度 | 軸向/徑向≤ 20 nm(0.8 µ英寸) | 軸向/徑向≤ 15 nm(0.6 µ英寸) |
熱控制選項 | 液冷式冷水機組 +/- 0.1°C精度 | 液冷式冷水機組 +/- 0.1°C精度 |
C軸反饋分辨率 | 0.018弧秒 9,000線編碼器 | 0.010弧秒 16,200線編碼器 |
C軸定位精度 | +/- 1弧秒 | +/- 1弧秒 |
C軸轉速 | 4,000 RPM | 2,000 RPM 9,000線編碼器為4,000 RPM |
工件夾持主軸轉速 | 18,000 RPM | 10,000 RPM |
設施要求 | ||
電源 | 208或230 VAC - 3.0 KVA 1相 - 50/60Hz用于DT機床 115或230 VAC - 1.5 KVA 1相 50/60 Hz用于µ-LAM系統 | |
氣源 | 典型:12 SCFM @ 100 PSIG | |
機器占地面積(寬x長x高) | 929 x 2152 x 1790毫米 (36.6 x 84.8 x 70.5英寸) |