超精密平面磨床
(左右行程手動(dòng)位移按鍵式入力定位方式，奈米自由曲面研磨控制)可以研磨級(jí)水準(zhǔn)之原始測(cè)定器以及陶瓷軌道
(不需要拋光加工就可讓砂輪在加工時(shí)之研磨面左右極限*不會(huì)產(chǎn)生多餘磨耗現(xiàn)象)
■機(jī)械重量為向來(lái)機(jī)種之2 倍強(qiáng)化高剛性結(jié)構(gòu)及採(cǎi)用光學(xué)式回饋尺方式，可回朔支援上下進(jìn)給10nm之正確動(dòng)態(tài)精度。
■搭載可變靜壓軌道系統(tǒng)，已克服過(guò)去一成不變難以負(fù)荷載重之弱點(diǎn)。滑軌面剛性比以往強(qiáng)化了4倍。
■左右衝程設(shè)定以位移定位按鍵式直接輸入控制，至高無(wú)上控制新技術(shù)可對(duì)應(yīng)各種方式加工需求。
■使用全密閉安全罩並保持機(jī)械內(nèi)恆溫恆濕之環(huán)境，並藉由大量研磨液之供給，控制蒸發(fā)，能防止工件因表面溫度降低產(chǎn)生形狀之變化。