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詳細介紹
- 用途
- 技術參數
?紅外元件、系統的面型和波像差的測試
1、測試結構：斐索干涉臥式結構；
2、光源波長：可選780nm/1030nm/1064 nm/1053nm/3.39µm /10.5µm；
3、有效測試口徑≥Ф130mm；
4、平面透射標準鏡（TF）：面型PV優于λ/20（＠632.8nm）；
5、軟件分析系統：可輸出峰谷值（PV）、標準偏差（RMS）、等高圖、X-Y剖面圖、三維立體圖、干涉條紋圖、MTF(光學傳遞函數)、PSF(點擴散函數)，澤爾尼科多項式分析、賽德爾相差分析，PVr分析、、ISO10100-5對比分析等。
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