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當前位置:成都漢普升科技有限公司>>電阻電子束沉積>> 成都真空設備廠家 半導體制程PVD沉積臺
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所 在 地成都市
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更新時間:2023-11-06 16:26:38瀏覽次數:332次
成都真空設備廠家 Research-紅外蒸發鍍膜機
成都真空廠家 surpass系列精密光學鍍膜機
成都真空廠家 Research電子束蒸發鍍膜機
成都真空廠家 Research熱蒸發真空鍍膜機
成都真空廠家 surpass工業級電阻電子束蒸發
詳情介紹
●本裝置使用電阻蒸發、電子束蒸發和離子源輔助清洗、輔助沉積和原位刻蝕進行復合,用于制備特種薄膜,薄膜具有均勻性、附著力、抗損傷、低顆粒物污染等特點,是半導體制程中關鍵工序的核心裝備,其技術長期被美國、日本等國技術所壟斷,屬于國內卡脖子裝備,也是制約國內半導體領域自主可控的關鍵設備,該設備的技術突破和產業化對國內半導體產業發展具有積極意義。
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