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蘇州芯矽電子科技有限公司
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| 產地 | 國產 | 超聲波功率 | 定制w |
|---|---|---|---|
| 超聲波頻率 | 定制Hz | 界面語言 | 中文,英文 |
| 內槽尺寸（長×寬×高） | 定制mm | 清洗槽數 | 三槽 |
| 售后保修期 | 面議個月 | 外形尺寸（長×寬×高） | 定制mm |
| 重量 | 定制kg | 自動化程度 | 全自動 |
濕法EKC清洗機是半導體清洗設備之一。它基于化學與機械作用結合的原理，利用含氧化劑和酸性物質的溶液清洗晶圓表面，溶解雜質。液體沖刷與超聲波裝置增強效果。具備高效、精確、自動化特點，可選清洗模式，確保均勻清洗，還有干燥功能。過濾系統延長溶液壽命，實時監測保障安全。
濕法EKC清洗機是一款結合化學作用與機械作用，高效、精確且自動化去除晶圓表面雜質的半導體清洗設備。那么針對它，我們下面從性能、性能、使用方面等角度，來給大家詳細介紹一下：
產品性能：
濕法EKC清洗機展現出的性能良好。它具備高效的清洗能力，能快速去除晶圓表面雜質。清洗過程中，精確的溫度、時間以及化學溶液濃度等參數控制，確保了清洗的穩定性和一致性。其自動化操作功能減少了人工干預，提高了生產效率，同時也降低了誤操作的風險。
特點：
該清洗機在于其結合了化學作用和機械作用?；瘜W溶液中的氧化劑和酸性物質與雜質反應，而液體的流動沖刷以及超聲波裝置進一步增強了清洗效果。它可以實現對晶圓表面的均勻清洗，保證高質量的清洗結果。此外，過濾系統有助于延長化學溶液的使用壽命，降低運營成本。
使用方面：
濕法EKC清洗機適用于半導體制造過程中的多個環節，特別是在光刻、刻蝕等關鍵工藝前對晶圓的清洗。它可以有效去除有機和無機雜質，提高芯片的質量。使用時，只需根據不同的清洗需求選擇合適的清洗模式，然后將晶圓放入清洗機中，啟動清洗程序即可。清洗完成后，還具備干燥功能，方便后續的處理。
備注:以上給出的是參考價格，具體的價格根據產品的配置與參數，需要面議決定。
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