激光干涉儀是以激光波長為總長度計量檢定基準的高精密檢測儀器，伴隨著干涉儀的出現，因其有著特性比較穩定、檢驗精確度高及數據信息穩定性好等優勢，已變為高精密的機器設備生產制造中校正及應對的標準規定儀器設備，在機械設備、金屬材料切割加工及航天航空等各個領域得到了普遍的運用。

激光干涉儀以光波為載體，有著測量精度高、精確測量速度更快、檢測范圍大、較高測速下屏幕分辨率高等特性，其光波波長可直接對米做好定義并追溯至國家行業標準。所以干涉儀廣泛運用于數控車床、PCB鉆孔設備、坐標測量儀、角位移傳感器等精密儀器的質量管理與校正及其產品研發、高檔設備制造等各個領域。

激光干涉儀發送單一工作頻率激光束，激光束射進線形干涉鏡后分為兩個激光束射向反射鏡片，這兩個激光束再反射面回到分光鏡，然后再次聚集回到激光干涉儀。若光程差并沒有轉變 時，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩方面中間尋找到比較穩定的數據信號。若光程差有轉變 時，這種轉變 會被計算并用于精確測量兩個光程中間的差別轉變 。