激光干涉儀，以激光波長為已知總長度，使用邁克耳遜干涉系統(tǒng)精確測量挪動(dòng)的常用尺寸測量。
激光干涉儀的使用方法：
1、開機(jī)：連接主機(jī)電源打開電源總開關(guān)，1分鐘后進(jìn)行檢驗(yàn)。（這是因?yàn)閯傞_機(jī)激光器不穩(wěn)定）

2、激光光路調(diào)整：激光干涉儀適用于的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭使標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)指向?qū)ば谴翱谡虚g的黑點(diǎn)，顯示屏上顯示比較完整的圓形圖象。

3、鏡片面形檢驗(yàn)：調(diào)整沉座到被檢鏡片的適用于外形尺寸，（提議大批量穩(wěn)定鏡片的檢驗(yàn)，自己生產(chǎn)加工穩(wěn)定的沉座）放上鏡片調(diào)整相對高度和鏡片調(diào)整鈕使鏡片的星點(diǎn)與標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)重疊，觀察顯示屏是不是出現(xiàn)干涉條紋，條紋越少精密度越高。激光干涉儀圖象與指向操作系統(tǒng)同步，不需要轉(zhuǎn)換，任何一個(gè)人都能簡單實(shí)際操作。相對高度調(diào)整結(jié)構(gòu)特征挑選加長的檢測軌道來相互配合精確測量外形尺寸，可簡便的精確測量出回轉(zhuǎn)半徑。
4、鏡片回轉(zhuǎn)半徑檢驗(yàn)：激光干涉儀打開尺標(biāo)電源總開關(guān)（清零），調(diào)整圖象到看清楚直線干涉條紋（3條到5條），凸透鏡成像向上調(diào)整相對高度（凹透鏡向下調(diào)整相對高度）到另一個(gè)星點(diǎn)出現(xiàn)的過程中調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)鏡頭調(diào)整按鈕，使圖象出現(xiàn)貓眼像，尺標(biāo)挪動(dòng)的標(biāo)值就為被測鏡片的回轉(zhuǎn)半徑。