產品描述

PSVL40-080U緊湊型線性納米定位臺，沿Z方向可提供100μm或更大行程的運動。其緊湊的設計使其成為許多光子學和光纖定位應用的理想工具。Z軸納米定位線性位移臺是基于壓電壓電陶瓷驅動的線性位移臺，本系列產品包含X、XY、XZ、XYZ產品可供用戶選擇。

該系列納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅動元件，利用有限元優化的集成態撓性導向系統可確保的平行運動。由于采用了無摩擦柔性機構，壓電位移臺無需維護，無磨損，并具有快速響應和快速穩定的性能，使其適用于動態過程，例如高頻誤差補償，跟蹤，快速步進或連續掃描。閉環版本具有高分辨率應變片式位置傳感器，可實現高精度和可重復的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環電橋設計。它可以在開環或閉環控制中運行。

壓電平臺固定是通過移動面和底板上的螺紋孔實現的。若要安裝到具有標準柵格的光學平臺或其他組件上，請使用轉接板轉接。在緊固過程中，應避免過大的彎矩載荷和作用在移動面與外殼之間的側向力，這些外力可能會損壞位移臺。

選配功能

—可定制轉接裝置

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度

—可選配閉環(SGS) 位置反饋系

—定制安裝轉配孔

應用領域

—顯微鏡、生物技術

—納米定位、測試應用

—半導體技術

—光子、光纖定位

                   結構原理                                           響應特性                                           典型應用

PSVL40-080U系列技術參數