產品描述

PK3L80-080U是一款超緊湊的亞納米閉環控制掃描臺，每個軸都經過機械預加載。*的產品設計非常緊湊，在XYZ運動軸上的運動均可達80µm（閉環）行程，并且由于柔性機械設計而實現了無間隙的平行運動。其緊湊的設計使其是許多應用的理想工具，例如：光纖對準、雙光子聚合和激光寫入應用等。

可以選擇使用集成的SGS測量系統來克服遲滯的影響，并且PK3L80-080U定位系統可以配備電容測量系統，PK3L80-080U壓電掃描臺可以輕松地與其他機械定位系統結合使用。壓電掃描臺是為了滿足超精密定位應用的需求。該平移臺采用壓電陶瓷驅動，以柔性鉸鏈為導向使其結構緊湊、具有無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優點。

PK3L80-080U系列非常適合從光學研究到OEM系統的各種應用。非常適合即要求有孔徑又對體積有限制的應用。

本系列產品種類包括X、Z、XZ、XY、XYZ軸運動系統版本。請參照相關型號介紹。

選配功能

—可定制轉接裝置

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度

—可選配閉環(SGS) 位置反饋系

—可選擇中心孔徑大小

應用領域

—掃描顯微鏡

—超分辨率顯微鏡

—掩模、晶圓定位

—干涉測量、測量技術

—顯微操縱

                   結構原理                                           堆疊形式                                             典型應用

PK3L80-080U系列技術參數