滿足計量檢測用戶更穩定、更高精度、更便利的使用要求；

以光刻機用激光干涉測量系統為基礎，

在保留高穩定性、高精度、高采樣速率性能的同時，

將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里，

一體化設計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗；

典型頻差7±0.5 MHz，測速高達2m/s。

系統組成：
LH2000激光測頭及附件
環境補償單元
LaserLC測量軟件
線性位移測量鏡組（選配：角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等）
光學調整附件
三腳架及其他測量附件


（欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點和差異，請閱覽本網站解決方案欄目中的：雙頻激光干涉儀）

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