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詳細介紹
特點
- 機械手臂標準臂長：100 mm，130 mm，160 mm，200 mm
- Z軸（升降軸）標準長度：200 mm，300 mm，400 mm，500 mm
- 可搬運重量：手臂第3關節處基準3 kgf以下
- 雙臂結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
- 適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
- 配備動作監視器
- 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
- 全軸采用2相步進電機
- S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
- 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
- 手指材質：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
- 可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供的手指
雙手臂結構，晶圓搬運效率更高
應用設備實例
EFEM；PE-CVD設備；AOI設備
規格
| 被搬運物 | ?300 mm晶圓 | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋轉 | 升降 | |
| 可動范圍* （手臂第3關節中心基準） | 315 mm | 340度 | 300 mm |
| 搬運速度 (平均速度)* | 570 mm/sec | 220度/sec | 200 mm/sec |
| 搬運速度 (速度)* | 1140 mm/sec | 270度/sec | 250 mm/sec |
| 精度* | 12.6µm以下 | 0.0045度 | 6.25 µm |
| 搬運高度* | 620 mm (底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度) | ||
| 重復性精度 | ±0.1 mm以內 | ||
| 潔凈度 | ISO標準 Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下) | ||
| 廠務 | 電源：DC24V±10% 16A 真空：優于-53 kPa | ||
*測試機型：STCR4160S-300-PM，使用JEL標準真空吸附式手指
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