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詳細介紹
特點
- 可對應平行配置的布局
- 可對應搬運重量10kg
Micro LED用4軸真空水平多關節潔凈機械手臂
應用設備實例
LED生產設備
規格
| 被搬運物 | 可對應700 mm托盤 (10 kg) | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋轉 | 升降 | |
| 可動范圍* （被搬送物體中心到達距離） | 1290 mm | 360 度 | 60 mm |
| 搬運速度* | 640 mm/4.0 sec | 360 度/5.0 sec | 60 mm/2.0 sec |
| 精度* | 第1關節軸 (J1軸) | 第2關節軸 (J2軸) | 第3關節軸 (J3軸) |
| 8.1x10-4 度 | 8.1x10-4 度 | 7.2x10-4 度 | |
| 第4關節軸 (J4軸) | |||
| 0.98 µm | |||
| 重復性精度 | ±0.1 mm以內 | ||
| 潔凈度 | 機械手臂本體: 0.1 µm/cf Class 1 | ||
| 廠務 | 電源：単相AC200V±10% 4.0 kVA | ||
| 質量 | 機械手臂本體 大約90 kg | ||
*測試機型：JVCR4330-060-AM
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