產品名稱：M-NanoCoord細微形狀測量系統

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產品介紹

M-NanoCoord
細微形狀測量系統
特點
• 能精確測量微小表面的形狀(如MEMS 產
品、 電氣設備、精密模、陽模、球面透鏡
等)。
• M-NanoCoord 系列的每一型號均包含一臺
開發的超高精度主機。
• M-NanoCoord 系列的每一型號均包含一個
作為標準配件的視像測頭。
• 除了標準的視像測頭之外，還可安裝第
二測頭。
兩種測頭可供選擇
極低測力掃描測頭，特別適用于非損傷地
測量軟質工件；
極小測頭的接觸式測針UMAP103，特別適
用于測量微孔。