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當(dāng)前位置：成都漢普升科技有限公司>>干法刻蝕系統(tǒng)>> 成都真空廠家 surpass大口徑干法刻蝕機裝備
產(chǎn)品型號
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地成都市
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更新時間：2023-11-13 11:29:57瀏覽次數(shù)：408次
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●Surpass系列 干法刻蝕機，特別適合于大口徑、高均勻性和有特殊微納結(jié)構(gòu)的基片刻蝕，刻蝕尺寸可達φ2500mm，通過高密度等離子體及離子濃度修正系統(tǒng)，可達到基片有效刻蝕區(qū)域內(nèi)均勻性較高的技術(shù)指標(biāo)，滿足大口徑基片刻蝕的需求。
●特別說明：根據(jù)用戶不同的工況和工藝要求，公司愿與客戶聯(lián)合研發(fā)，共享知識產(chǎn)權(quán)，公司致力于工藝與設(shè)備的匹配。
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