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晶圓片清洗設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式：陳查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-07-04 23:31:51瀏覽次數(shù)：70次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：23條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：陳 （銷售）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn) 超聲波功率 根據(jù)方案自定義w
超聲波頻率 根據(jù)方案自定義Hz 界面語(yǔ)言 中文,英文
內(nèi)槽尺寸（長(zhǎng)×寬×高） 根據(jù)方案自定義mm 清洗槽數(shù) ≥5槽
售后保修期 24個(gè)月 外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高） 根據(jù)方案自定義mm
銷售區(qū)域 全國(guó),華東,華南,華北,華中,東北,西南,西北,港澳臺(tái),海外 重量 根據(jù)方案自定義kg

晶圓片清洗設(shè)備專為半導(dǎo)體制程設(shè)計(jì)，集成化學(xué)濕法與超聲清洗技術(shù)，高效去除晶圓表面微粒、氧化物及殘留污染物。設(shè)備支持單片或批量清洗，兼容RCA標(biāo)準(zhǔn)工藝，配備高精度噴淋系統(tǒng)與溫控模塊，確保均勻性與工藝穩(wěn)定性。采用耐腐蝕材料構(gòu)建，適應(yīng)HF、H?O?等強(qiáng)腐蝕性溶液，結(jié)合在線監(jiān)測(cè)功能，保障清洗后晶圓潔凈度達(dá)到納米級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，適用于芯片制造、封裝前處理等場(chǎng)景，提升良品率與生產(chǎn)效率。

詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品性能

高效清洗能力：

單片清洗時(shí)間≤5分鐘，顆粒去除率≥99.9%（≥0.1μm），滿足制程對(duì)潔凈度的嚴(yán)苛要求。

支持兆聲波（1MHz）與化學(xué)濕法聯(lián)合清洗，剝離光刻膠殘留、氧化物及納米級(jí)污染物。

均勻性控制：

噴淋系統(tǒng)+流體動(dòng)力學(xué)設(shè)計(jì)，溫差≤±0.5℃，流速波動(dòng)＜5%，確保晶圓表面無(wú)局部污染。

低損傷設(shè)計(jì)：

非接觸式干燥技術(shù)（熱風(fēng)+離心干燥），避免機(jī)械擦拭導(dǎo)致的劃痕或崩邊。

軟包覆機(jī)械臂傳輸，兼容薄片（厚度≤100μm）及大尺寸晶圓（如12英寸）。

二、用材與工藝

核心部件材質(zhì)：

腔體：316L不銹鋼+特氟龍防腐涂層，耐HF、H?O?、緩沖氧化物腐蝕（pH 2-12）。

密封件：氟橡膠（FKM）材質(zhì)，長(zhǎng)期耐受酸堿環(huán)境，壽命＞10,000次循環(huán)。

流體管路：PFA（全氟烷氧聚合物）材質(zhì)，防止清洗液二次污染。

表面處理：腔體內(nèi)壁鏡面拋光（Ra≤0.2μm），減少微粒吸附。

三、參數(shù)表

參數(shù)規(guī)格
適用晶圓尺寸4-12英寸（兼容多尺寸）
清洗模式濕法化學(xué)清洗、兆聲波清洗
溫度范圍常溫~80℃（PID精準(zhǔn)控溫）
流量控制0.1-5L/min（可調(diào)）
干燥方式熱風(fēng)+離心甩干（殘水率＜5ppm）
電源AC 380V, 50Hz
氣源要求潔凈氮?dú)猓兌取?9.99%）

四、產(chǎn)品用途

用途：

前道制程：光刻后清洗、蝕刻后殘留物去除。

后道封裝：芯片粘接前表面活化與清潔。

特殊場(chǎng)景：化合物半導(dǎo)體（如GaN）、MEMS器件清洗。

關(guān)鍵詞：電源 密封件

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